• 湖州德清县启动首批“潜力医师”项目 2019-07-17
  • 在交流中了解 在了解中亲近 2019-07-17
  • 2016年VEX IQ机器人工程挑战赛 2019-07-06
  • 囧!肖智潇洒头球破旧主忘情脱衣庆祝 结果2黄被罚下 2019-07-02
  • 和静县首届东归节将于6月23日开幕 2019-06-30
  • 李蓬国:用善款资助副局长儿子留学,真是“打错字”所致? 2019-06-30
  • 砥砺七载 兰州马拉松赛“跑出”阳光新兰州 2019-06-28
  • 海尔发行境外上市外资股获批 2019-06-28
  • 水果呵护男性健康 葡萄荔枝莲子白果要多吃 2019-06-27
  • 全国纪检监察机关上半年处分省级干部41人 2019-06-27
  • 乌兰察布(北京)招商路演会 2019-06-17
  • 好消息!智能终端生产企业智能化改造有补贴 2019-06-17
  • “日照”河山汉字摩崖石刻 2019-06-08
  • “无中生有”也能助力文旅 2019-06-08
  • 河北省党政代表团到天津考察 共同推进京津冀协同发展 2019-06-07
  • 研发设施

    神童网单双中特 www.lvzwk.tw 研究与中试条件一、工程研发能力

     

    “柔性制造”平台:??榛?、知识密集、可变尺度和可快速配置。业内规?;?、跨尺度、可快速配置的微纳微加工与制造条件。

    1、微纳结构制备(图形化):幅面42寸、0.25um分辨率、1.5um线宽以上任意图形;幅面42寸、100nm及以上特征结构的纳米结构。

    拥有大型紫外微图形无掩模直写系统(iGrapher820)、超大型(65”)激光直写光刻系统(MiScan1500系统)、大型微纳米混合光刻直写系统(HoloScanV);精密电铸系统,激光刻蚀系统、激光签注系统;紫外纳米光子晶体直写系统(HoloMakerIIIc)、高速紫外图形直写系统,多轴激光并行光刻系统(MicroLab100);大型紫外接近式曝光系统(EXPOSURE-Scan)。

    2、纳米压印工艺
    柔性纳米压印模板
    200nm点阵以上周期结构,1微米以上结构复制、微流控、生物芯片。
    PMMA、PC、PET材料:压印器件,微纳结构压印薄膜
    UV coating 胶

    拥有UV卷对卷纳米压印设备7套;热压纳米压印设备套、纳米转移设备,溅射与热蒸发蒸镀设备以及相关其他设备。

    3、LIGA工艺、激光刻蚀
    深纹精密模具:线宽10um-200um,深度5um-100um
    触摸屏、太阳能电池电极等精密印刷Ni网版
    图形刻蚀(矩阵、蜂窝、棋盘、圆形、直线等)
    位相光栅、衍射元件、全息图、精密图形、MEMS
    LED导光logo、3D成像、空间动感成像(悬浮成像)

    4、微结构器件
    Micro-structure patterns
    基材:PC,Si,石英等
    图形分辨率1um,深宽比可达5:1,尺寸100mmx100mm
    用于二元光学位相结构
    微流控芯片、生物芯片等。

    拥有精密电铸系统、激光直接刻蚀系统、激光签注系统;纳米压印设备、辊筒激光刻蚀设备、大尺寸平板激光刻蚀设备等。

    二、工程化设备

    具有微纳加工、柔性材料与器件、跨尺度微纳装备的光、机、电、算工艺一体化实验和中试条件,可全方位为客户和合作方提供服务和方案支持。

    • 宽幅激光全息制版系统(HoloScanVe)
    • 大型微纳米混合干涉光刻系统(HoloMakerIIIc)
    • 高速紫外图形化直写系统(iGrapher200-810)
    • 双头混合紫外激光光刻系统(MiScan)
    • 精密多轴激光并行光刻系统(MicroLab100)
    • 超大型紫外激光掩膜直写系统(iGrapher150)
    • 紫外纳米光子晶体直写系统(6"-12”)(NanoCrystal)
    • 精密电铸系统(40"-65”):21套;
    • 大型激光刻蚀系统(平板刻蚀、辊筒刻蚀系统)
    • 激光签注系统
    • 大型紫外接近式曝光系统(EXPOSURE-Scan)
    • UV卷对卷纳米压印设备(14”-65"
    • 热压纳米压印设备
    • 纳米涂布与转移设备
    • 溅射-热蒸发蒸镀设备以及相关其他设备
    • 大型光刻胶板涂布设备
    • 激光全息曝光系统
    • 光学检测平台
    • 精密丝印设备

    三、核心技术

    1、超大尺寸快速图形化光刻技术
      
    ●大尺寸紫外激光投影直写光刻系统
      ●超大尺寸微-纳混合图形化直写系统 
      ● 多轴微纳加工设备(新产品)
      ● LED光子晶体快速光刻系统
    特色:(1)65英寸光掩膜(2um线宽)光刻能力。65英寸300nm周期光子晶体或者纳米陷光结构的光刻能力。(2)25寸精密光掩膜(0.5um微米分辨率,1微米线宽;0.25um分辨率,1um线宽);支持大尺寸精密导电电路(2um线宽)的快速直写光刻。

    2、纳米压印技术与模板制造
      ● UV纳米压印工艺与装备
      ● 卷对卷纳米压印系统(新产品)

    150纳米线宽、300纳米周期结构的亚波长光学结构、材料与器件的研发条件。1300nm门幅的纳米结构光学薄膜的研发条件。双面UV纳米压印技术是工程研究中心的特色技术。

    3、显示材料与器件:微纳光学膜新方法
      ● 精密激光刻蚀与模具制备系统:支持32寸导光模具制备

      ● 热压型卷对卷纳米压印系统与关键工艺技术:超薄LED导光板(扩散复合功能)
      ● 微镜扩散模具制备技术、
      ● 大尺寸透明导电传感器

    4、3D成像与显示:机理和技术
      ●
    3D成像与显示材料的设计与制备技术:3D
    激光打印系统
      ● 基于微透镜薄膜的激光空间成像技术
      ● 真彩色立体图像处理、 三维真彩色显示屏

     

    四、研究条件(场地)

    6000平米实验楼,其中,3000平米净化实验室。中试线:4000平米中试基地(净化):柔性制造中试基地(微纳光学、光电膜)、微纳图形化与器件加工中试基地(纳米图形化、光子晶体、纳米功能器件与材料)。

    五、检测仪器

    微纳设备与检测仪器:光刻胶涂布、紫外光刻、ICP、IRE、电铸、纳米压印、激光直写、超声清洗;涂布设备、激光蚀刻系统、微纳图形化直写、蒸镀设备、UV纳米压印设备、全息实验系统、薄膜结构转移、直接热压印系统、和大幅面LIGA工艺;台阶仪、金相显微镜、3D共焦显微镜、原子力显微镜和气相色谱仪等。


     

    技术文档下载

  • 湖州德清县启动首批“潜力医师”项目 2019-07-17
  • 在交流中了解 在了解中亲近 2019-07-17
  • 2016年VEX IQ机器人工程挑战赛 2019-07-06
  • 囧!肖智潇洒头球破旧主忘情脱衣庆祝 结果2黄被罚下 2019-07-02
  • 和静县首届东归节将于6月23日开幕 2019-06-30
  • 李蓬国:用善款资助副局长儿子留学,真是“打错字”所致? 2019-06-30
  • 砥砺七载 兰州马拉松赛“跑出”阳光新兰州 2019-06-28
  • 海尔发行境外上市外资股获批 2019-06-28
  • 水果呵护男性健康 葡萄荔枝莲子白果要多吃 2019-06-27
  • 全国纪检监察机关上半年处分省级干部41人 2019-06-27
  • 乌兰察布(北京)招商路演会 2019-06-17
  • 好消息!智能终端生产企业智能化改造有补贴 2019-06-17
  • “日照”河山汉字摩崖石刻 2019-06-08
  • “无中生有”也能助力文旅 2019-06-08
  • 河北省党政代表团到天津考察 共同推进京津冀协同发展 2019-06-07
  • 四象电子 捕鱼大师注册送5元 萨索洛对帕尔马 快3开奖号码 怪物聚集送彩金 25选7开奖号 新重庆时时彩开奖号码 上海到纽伦堡航班 伯恩利狼队 惑星战记援彩金